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[发明专利]使用等离子体放电水的防疫系统以及将等离子体放电水雾化成液滴的喷嘴-CN202180021022.4在审
发明人：洪镛澈;李义宰;金刚逸 -专利权人：韩国核融合能源研究院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： A61L2/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用等离子体放电水的防疫系统以及喷嘴。使用所述等离子体放电水的防疫系统，包括：等离子体放电水生成装置；被处理水供给部，用于向所述等离子体放电水生成装置供给被处理水；等离子体放电水吐出部，连接于所述等离子体放电水生成装置的一侧；以及喷嘴，与所述等离子体放电水生成装置连接成可互通流体，由所述等离子体放电水吐出部供给等离子体放电水，所述喷嘴将所供给的等离子体放电水雾化成液滴后喷洒。
使用等离子体放电防疫系统以及水雾化成喷嘴

[发明专利]组合式等离子设备-CN201410777099.6有效
发明人：张建平;杜彩萍 -专利权人：山东派力迪环保工程有限公司
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明涉及废气净化技术领域，具体涉及一种组合式等离子设备，包括外壳、进风口及出风口，还包括：电晕放电系统、双介质阻挡放电低温等离子系统、电源系统、高压转换系统、布风导流系统、喷淋冲洗系统。电晕放电系统靠近进风口，包括多个电晕放电盘，电晕放电盘多行排列设置在外壳内；双介质阻挡放电低温等离子系统，靠近出风口，包括多个低温等离子放电盘，低温等离子放电盘多行排列设置在外壳内。本发明采用电晕放电系统和双介质阻挡放电低温等离子系统相结合的结构，有效的处理废气污染物，净化后的气体达到环保要求。
组合式等离子设备

[发明专利]在半导体工艺期间对等离子体放电进行辨认和寻址的方法-CN202010710244.4在审
发明人：王志佑 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于对等离子体放电进行辨认和寻址的方法。一种等离子体放电探测系统探测半导体工艺腔室内的不期望的等离子体放电事件。等离子体放电探测系统包括位于半导体工艺腔室周围的一个或多个相机。等离子体放电探测系统包括从相机接收图像的控制系统。控制系统对图像进行分析并基于图像探测半导体工艺腔室内的等离子体放电。控制系统可响应于探测到等离子体放电而实时调整半导体工艺。
半导体工艺期间等离子体放电进行辨认寻址方法

[实用新型]基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置-CN201922324394.7有效
发明人：马凤鸣;李浦;李淼;杨强;王惠雯;王月华;陈冰瑶 -专利权人：沈阳农业大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种等离子体反应装置，尤其涉及一种基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置。由供气系统、第一射频放电等离子体发生系统、第二射频放电等离子体发生系统和搅拌反应罐构成，供气系统通过一号连接管分别与二号连接管和三号连接管连接，二号连接管与第二射频放电等离子体发生系统连接，三号连接管与第一射频放电等离子体发生系统连接，第一射频放电等离子体发生系统出气口与第一搅拌反应罐进气口连接，第二射频放电等离子体发生系统出气口与第二搅拌反应罐进气口连接，第一搅拌反应罐进气口和第二搅拌反应罐进气口设在搅拌反应罐罐壁的下部。
基于射频放电等离子体相等离子反应装置

[发明专利]一种等离子体原位表征系统-CN201610546449.7在审
发明人：张婧;石宁;徐伟;孙峰;朱云峰;金满平 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：一种等离子体原位表征系统，包括发射光谱仪、高速图像捕捉系统、数字示波器、红外成像仪与在线质谱仪。光纤探头和第一图像采集器均置于等离子体放电反应器的放电核心区域。数字示波器的电压探头附属高压极与等离子体放电反应器的高压极相连，电压探头附属接地极与地线相连，电流探头与等离子体放电反应器相连；红外成像仪的第二图像采集器朝向等离子体放电核心区域；在线质谱仪的进样管与等离子体放电反应区出口相连上述一种等离子体原位表征系统，各部件协同配合，可全方位实时监测等离子体活性物种的种类和数量、等离子体放电状态、电流电压波形、等离子体电子密度、等离子体区温度分布和产物组成等，可对等离子体放电过程进行原位表征
一种等离子体原位表征系统

[发明专利]一种低温等离子体处理医疗废水的装置及方法-CN201810322020.9在审
发明人：黄青;张启富;魏星;张宏;柯志刚 -专利权人：芜湖华鹿环保科技有限公司
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温等离子体处理医疗废水的装置及方法，装置包括有低温等离子体电源、等离子体放电反应器、集水池和供气系统，低温等离子体电源与等离子体放电反应器连接，等离子体放电反应器设置于供气系统的集气罩内，等离子体放电反应器的高压电极对集气罩内的氧气进行等离子体放电生成臭氧，最后臭氧对集水池内的医疗废水进行处理。本发明采用介质阻挡放电技术产生低温等离子体，低温等离子放电产生的高能电子、紫外光和臭氧等对医疗废水进行降解，具有降解效率高，无二次污染等优点。
等离子体放电医疗废水反应器臭氧低温等离子体处理低温等离子体电源供气系统集气罩集水池低温等离子体介质阻挡放电低温等离子无二次污染紫外光高能电子高压电极降解效率放电降解氧气

[实用新型]一种低温等离子体处理医疗废水的装置-CN201820510992.6有效
发明人：黄青;张启富;魏星;张宏;柯志刚 -专利权人：魏星
申请日： 2018-04-11 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温等离子体处理医疗废水的装置，包括有低温等离子体电源、等离子体放电反应器、集水池和供气系统，低温等离子体电源与等离子体放电反应器连接，等离子体放电反应器设置于供气系统的集气罩内，等离子体放电反应器的高压电极对集气罩内的氧气进行等离子体放电生成臭氧本实用新型采用介质阻挡放电技术产生低温等离子体，低温等离子放电产生的高能电子、紫外光和臭氧等对医疗废水进行降解，具有降解效率高，无二次污染等优点。
等离子体放电医疗废水反应器臭氧低温等离子体处理低温等离子体电源本实用新型供气系统集气罩集水池低温等离子体介质阻挡放电低温等离子无二次污染紫外光高能电子高压电极降解效率放电降解氧气

[发明专利]液相脉冲放电等离子体处理反应装置及处理方法-CN201911334348.3有效
发明人：马凤鸣;李浦;岳国鑫;王月华;赫婉莹;杨强;尹义磊 -专利权人：沈阳农业大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体处理反应装置，特别是涉及一种液相脉冲放电等离子体处理反应装置及处理方法。它由搅拌罐、气液混合系统和脉冲放电等离子体处理系统构成，搅拌罐通过一号连接管与气液混合系统连通，气液混合系统通过四号连接管与脉冲放电等离子体处理系统连通，脉冲放电等离子体处理系统通过五号连接管与气液混合系统顶部回流口连通本发明的优点效果：利用本发明的液相脉冲放电等离子体处理反应装置及其处理方法进行液体物料脉冲放电等离子体处理时，具有处理量大、连续性好的优点。
脉冲放电等离子体处理反应装置方法

[实用新型]液相脉冲放电等离子体处理反应装置-CN201922323092.8有效
发明人：马凤鸣;李浦;尹义磊;王月华;赫婉莹;杨强;岳国鑫 -专利权人：沈阳农业大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种等离子体处理反应装置，特别是涉及一种液相脉冲放电等离子体处理反应装置。它由搅拌罐、气液混合系统和脉冲放电等离子体处理系统构成，搅拌罐通过一号连接管与气液混合系统连通，气液混合系统通过四号连接管与脉冲放电等离子体处理系统连通，脉冲放电等离子体处理系统通过五号连接管与气液混合系统顶部回流口连通本实用新型的优点效果：利用本实用新型的液相脉冲放电等离子体处理反应装置及其处理方法进行液体物料脉冲放电等离子体处理时，具有处理量大、连续性好的优点。
脉冲放电等离子体处理反应装置

[发明专利]基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置及处理方法-CN201911334430.6在审
发明人：马凤鸣;李浦;陈冰瑶;杨强;王惠雯;王月华;李淼 -专利权人：沈阳农业大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于射频放电等离子体的液相等离子体反应装置及处理方法。由供气系统、第一射频放电等离子体发生系统、第二射频放电等离子体发生系统和搅拌反应罐构成，供气系统通过一号连接管分别与二号连接管和三号连接管连接，二号连接管与第二射频放电等离子体发生系统连接，三号连接管与第一射频放电等离子体发生系统连接，第一射频放电等离子体发生系统出气口与第一搅拌反应罐进气口连接，第二射频放电等离子体发生系统出气口与第二搅拌反应罐进气口连接，第一搅拌反应罐进气口和第二搅拌反应罐进气口设在搅拌反应罐罐壁的下部。
基于射频放电等离子体相等离子反应装置处理方法

[发明专利]一种布水与催化集成的降膜放电等离子体水处理装置-CN201910263710.6有效
发明人：李杰;姜楠;沙利斌 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：一种布水与催化集成的降膜放电等离子体水处理装置，属于液体处理技术领域，包括放电等离子体电极系统、高压电源、蓄水箱。所述的放电等离子体电极系统与高压电源连接，蓄水箱内储存待处理的水体，通过水泵实现水体注入或者循环注入。电等离子体电极系统根据是否绝缘介质分为电晕(流光)放电等离子体电极系统和介质阻挡放电等离子体电极系统两种形式。本发明提供的放电等离子体水处理装置中放电等离子体在气相环境下发生，不受被处理水体参数影响，等离子体状态稳定；液膜分布均匀，调整多孔材料厚度实现液膜持液厚度调整，增加水体在反应器停留时间；利用多孔材料实现布水和催化剂载体于一体
一种催化集成放电等离子体水处理装置

[发明专利]一种柔性等离子体源特性分析系统-CN202111054712.8在审
发明人：蒋睿珈;刘诗筠 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开一种柔性等离子体源特性分析系统，包括柔性等离子体源放电子系统和放电参数采集检测子系统，柔性等离子体源放电子系统包括脉冲电源和柔性等离子体源，脉冲电源和柔性等离子体源电性连接，放电参数采集检测子系统包括电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部，电气特性分析部、光学特性分析部和温度特性分析部分别与柔性等离子体源放电子系统连接。本发明的柔性等离子体源特性分析系统能够准确高效的分析不同激励源下柔性CDBD的放电特性、光学特性、光谱特性以及温度特性，得到放电功率、传输电荷、能量利用效率、放电产生的主要粒子及反应器表面温度等参数，以及随外加电压以及放电频率等电源参数的演变规律
一种柔性等离子体特性分析系统

[发明专利]一种满足千秒等离子体运行的粒子再循环控制系统及方法-CN202310451680.8在审
发明人：胡建生;左桂忠;余耀伟;徐伟;黄明;曹斌;龚先祖;宋云涛 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G21B1/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种满足千秒等离子体运行的粒子再循环控制系统及方法，包括热氮气高温烘烤系统、低温等离子体放电清洗系统、面向聚变装置等离子体的器壁表面温度监测及反馈控制系统、等离子体放电前的镀膜壁系统及实时表面涂层系统本发明采用几种燃料粒子再循环控制方法的协同作用，降低千秒量级等离子体放电中燃料粒子从器壁的释放，进而减少燃料粒子返流进入等离子体，降低燃料粒子再循环，有助于千秒等离子体放电密度的稳定控制。
一种满足等离子体运行粒子再循环控制系统方法

[实用新型]一种低温等离子体触媒反应器-CN202020546336.9有效
发明人：时继明;李伟 -专利权人：合肥水泥研究设计院有限公司
申请日： 2020-04-14 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型属于低温等离子体技术领域，尤其为一种低温等离子体触媒反应器，包括系统本体、除尘器、吸气泵和PLC控制系统，所述系统本体内设置有等离子体放电系统、触媒反应器、废液管、入口检测点、中间检测点、水质检测点和出口检测点，所述PLC控制系统中设置有控制电源、高压系统、模拟控制输入系统、IGBT模组系统和油浸箱系统，所述PLC控制系统与等离子体放电系统电性连接；本实用新型，通过设置等离子体放电系统能使高电压电源在管内放电，在如此高的能量作用下产生等离子体放电，在管内能清晰看到蓝色的放电光晕，设置IGBT模组系统由于IGBT是等离子高压放电核心部件，通过各部件的相互配合使得整体的使用效果更好。
一种低温等离子体触媒反应器

[发明专利]一种混合超导ECR离子源装置-CN202210383314.9有效
发明人：孙良亭;钱程;杨通军;李立彬;王旭东;朱丽;郑石钧;卢旺;郭俊伟;张文慧;陈沁闻;张雪珍 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H05H15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种混合超导ECR离子源装置，包括：等离子体放电室以及固定安装在所述等离子体放电室外侧的注入系统、磁体系统和束流引出系统；所述注入系统与所述等离子体放电室的注入端密封连接，用于向所述等离子体放电室内提供微波功率和被电离材料；所述磁体系统包括依次套设在所述等离子体放电室外侧的多极永磁体和超导线圈磁体，所述超导线圈磁体用于形成轴向磁镜场，所述多极永磁体用于形成径向磁镜场；所述束流引出系统密封连接在所述等离子体放电室的引出端，用于将形成的高电荷的离子体束流引出。
一种混合超导 ecr 离子源装置

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